常規掃描電鏡的樣品室是真空環境，要求樣品干燥且無揮發。但有些樣品在干燥過程中會改變結構，如囊泡、自組裝結構、凝膠和生物樣品等，導致無法觀察真實結構。

　　低溫掃描電鏡(Cryo-SEM)技術可以觀察液體、半液體和電子束敏感樣品。在制樣過程中，選擇合適的冷凍劑、冷凍方式和控制水分升華時間至關重要。

　　選擇正確的冷凍劑可以保持樣品的原始結構，而冷凍方式則決定了樣品在低溫下的狀態。此外，控制水分升華時間可以避免樣品在觀察過程中發生變化。