冷場的束流比較小，分辨率比較大，電子槍壽命長。不過束流不是很穩(wěn)定，分析功能比較差，頂多可以做能譜分析，勉強(qiáng)可以做EBSD。而且電子槍受真空干擾影響較大，得周期性地進(jìn)行轟擊，烘烤。

　　熱場的束流相對比較大，而且穩(wěn)定，分析功能十分強(qiáng)大，EDS，WDS，CL，EBSD等等幾乎都可以。分辨率雖然也不差，可是比不過冷場。而且電子槍壽命短，后期維護(hù)消耗較大。歐美的廠家換熱場電子槍的時(shí)候，一般采取槍部分整體換的舉措(鏡筒，離子泵全換)，所以消耗可見一般。