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透射電子顯微鏡(Transmission Electron Microscope, TEM)是一種利用電子束穿透樣品并形成放大圖像的顯微鏡。其工作原理基于電子束與樣品相互作用產生信號,這些信號被檢測器接收并轉換成圖像。
1. 電子槍產生高能電子束:透射電鏡使用一個電子槍來產生一束高能電子,通常電子束的加速電壓在幾十到幾百千伏特之間。
2. 聚焦系統:電子束通過一系列電磁透鏡進行聚焦,形成非常細小的電子束斑,這個束斑的尺寸決定了顯微鏡的分辨率。
3. 樣品室和樣品:電子束穿過樣品室中的樣品。樣品需要非常薄,通常在納米到亞微米級別,以便電子可以穿透。
4. 信號產生:電子與樣品相互作用,可能發生彈性散射(透射電子)或非彈性散射(如產生二次電子、衍射、吸收等)。透射電子攜帶了樣品的結構信息。
5. 成像系統:透射電子或二次電子被成像系統接收,成像系統通常包括投影鏡和熒光屏或電荷耦合器件(CCD)相機,用于記錄電子信號的強度分布。
6. 圖像觀察與記錄:形成的圖像可以在熒光屏上實時觀察,也可以通過CCD相機記錄下來并在計算機上分析。
總結:透射電鏡通過聚焦電子束穿透超薄樣品,利用電子與樣品的相互作用產生信號,通過成像系統放大并記錄這些信號,從而獲得高分辨率的樣品內部結構圖像。
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